
2024年,新質(zhì)生產(chǎn)力熱潮涌動。SRT作為一家以軟體機器人技術(shù)為基礎(chǔ),以研發(fā)為導(dǎo)向的綜合性創(chuàng)新企業(yè),正在以加快構(gòu)建多領(lǐng)域場景應(yīng)用體系向“新”而行。如果說,9月24日開展的上海·工博會是SRT與全球工業(yè)人共商新質(zhì)大未來的主會場,那在無錫開展的第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(以下簡稱CSEAC 2024)就是SRT的分會場。
9月25日,SRT旗下微法爾(WFR)攜國產(chǎn)自研晶圓傳輸核心部件展示平臺亮相CSEAC 2024,以一場創(chuàng)新自研的持續(xù)革新,續(xù)寫起半導(dǎo)體國產(chǎn)設(shè)備的“進化論”,吸引了業(yè)界內(nèi)外的廣泛關(guān)注。此次參展,除全面展示在半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域的最新科技成果外,微法爾(WFR)還發(fā)布了兩款顛覆性新品,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的升級與發(fā)展增添了全新選擇。


近年來,半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進程正處在全面提速階段,CSEAC作為我國半導(dǎo)體行業(yè)專注「設(shè)備與核心部件」領(lǐng)域的展示會,匯聚了國內(nèi)外知名企業(yè),為眾多半導(dǎo)體設(shè)備/部件企業(yè)展示新產(chǎn)品、新發(fā)展景象提供良好的交流平臺。
微法爾(WFR)是SRT旗下子公司,也是半導(dǎo)體領(lǐng)域智能制造的新生代企業(yè),擁有大量從業(yè)經(jīng)驗10年以上的技術(shù)團隊,并以“半導(dǎo)體行業(yè)制程設(shè)備專業(yè)制造商”的角色定位,致力于高端進口設(shè)備的國產(chǎn)化替代,用技術(shù)創(chuàng)新解決“卡脖子”難題,在贏得良好客戶口碑的同時,也展現(xiàn)出專業(yè)的技術(shù)優(yōu)勢。
此次參展,微法爾(WFR)以5大半導(dǎo)體自主研發(fā)“全國產(chǎn)晶圓傳輸核心部件展示平臺”搭建溝通橋梁,一方面,以技術(shù)賦能重塑客戶體驗,為廣大客戶帶來突破行業(yè)邊限的全新產(chǎn)品;另一方面,微法爾(WER)希望與各地設(shè)備制造商、技術(shù)研發(fā)機構(gòu)及行業(yè)精英,共同探討半導(dǎo)體技術(shù)的未來趨勢與合作機遇,合力推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)交流與產(chǎn)業(yè)升級。


在本次展會上,微法爾(WFR)全新推出手臂精度展示平臺和單臂雙叉SCARA晶圓機械手展示平臺。晶圓搬運機械手是微法爾(WFR)為半導(dǎo)體行業(yè)晶圓傳輸開發(fā)的專用機械手,具備完全自主的知識產(chǎn)權(quán),產(chǎn)品已通過SEMI S2認證。值得一提的是,晶圓搬運機械手重復(fù)性精度高達±15μm,遠超行業(yè)平均水平。配合微法爾(WFR)自主設(shè)計的末端拾取器,可實現(xiàn)300mm及以下各種材質(zhì)和厚度晶圓的可靠傳輸。




兩款新品的成功發(fā)布標志著微法爾(WFR)“產(chǎn)品圖譜”再度擴員,在專注高端進口設(shè)備國產(chǎn)化替代的道路上,微法爾(WFR)通過高密度的研發(fā)投入和持續(xù)的尋求合作,打破產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)壁壘,賦能客戶價值。微法爾(WFR)一直將研發(fā)作為發(fā)展的核心驅(qū)動力,截至目前,自研產(chǎn)品已涵蓋晶圓輸出相關(guān)的LaodPort、Robot、Aligner、Sorter、EFEM和后道工藝相關(guān)的滾輪貼膜、真空貼膜(含Taiko)、超薄晶圓揭膜(含Taiko)、UV解膠、裂片等工藝設(shè)備。
同時,在本次展會上,微法爾(WFR)還展出了EFEM AEW6000系列、Sorter ASW6000系列和晶圓傳輸系統(tǒng)核心部件展示平臺,向廣大業(yè)界同仁傳遞著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展新階段的國產(chǎn)力量。

SRT是一家服務(wù)全球的科技集團,擁有完備的軟體機器人產(chǎn)學(xué)研全鏈條關(guān)鍵技術(shù)、機器視覺AI技術(shù)、基于自動化和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的智慧物流倉儲系統(tǒng)、半導(dǎo)體相關(guān)工藝技術(shù)、結(jié)合軟體氣動肌肉及康復(fù)醫(yī)學(xué)理論康復(fù)系統(tǒng)等。隨著CSEAC 2024的深入進行,眾多參觀者與潛在合作伙伴紛紛表現(xiàn)出濃厚的興趣與合作意愿。依托SRT提供的強大資源優(yōu)勢及多領(lǐng)域協(xié)同能力,微法爾(WFR)希望以此為契機,與廣大業(yè)界人士聚力同行,共同推動國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的加速崛起。與此同時,公司將繼續(xù)深挖市場需求空間,提升在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)規(guī)模和競爭力,為新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展提供源源不斷的創(chuàng)新動力。
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【開展日期】
9月25日-27日
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