產品
柔性末端執(zhí)行器
智能制造解決方案
機器視覺設備
半導體設備
行業(yè)應用
LP160 系列 LoadPort 裝載單元是為半導體自動化設備晶圓裝載設計的專用設備。產品已通過 SEMI S2 認證。分為三個產品系列,可應對 Semi 標準的 Foup、Fosb、Smif 料盒和用于先進封裝潔凈型 FrameFoup。 ? 對 FOUP 和自動門 FOSB 的標準支持 ? 獨特的開門機構和精確的運動控制,可實現(xiàn)高清潔性能
咨詢熱線: 400-186-7770
商務洽談: srt@softrobottech.com
Copyright?©?2016-2026?北京軟體機器人科技股份有限公司版權所有?京ICP備16032117號-1